삼성·SK 'HBM 경쟁 속' 패키징 힘주는 '미국 장비사' AMAT
AMAT 코리아는 30일 경기 성남 본사에서 기자간담회를 열고 TSV와 하이브리드 본딩 등 회사가 가진 이종접합(Heterogeneous Integration) 분야 신기술을 소개했다. 이종접합이란 중앙처리장치(CPU)와 그래픽처리장치(GPU) 등 연산 반도체와 HBM 등 메모리반도체를 인터포저라고 불리는 일종의 배선 층에 올려서 연결해, 마치 하나의 반도체처럼 동작하게 만드는 기술을 의미한다. 서로 다른 역할을 하는 반도체를 하나로 집적한다는 의미에서 이종접합이라는 이름을 갖게 됐다. 통상 업계에서는 인터포저 위에 반도체를 수평으로 배열하는 2.5D로, 복수의 반도체를 수직으로 적층하는 방식은 3D 패키징이라고 부른다.
이종접합이 주목받는 이유는 최근 AI 열풍과 무관하지 않다. 생성형 AI 투자가 확대되면서 막대한 AI의 학습 연산을 담당하기 위한 초고성능 반도체 수요가 증가했다. 이종접합을 활용해 CPU와 GPU, HBM을 하나로 통합하면 전송 속도를 높이면서도 반도체가 차지하는 면적은 줄일 수 있다. 서버를 운영하는 데 필요한 소비 전력 역시 큰 폭으로 감소하는 효과가 있다.
박흥락 AMAT 패키지 기술 총괄은 "CPU와 GPU, 메모리반도체 등 각 요소를 인터포저를 활용한 2.5D 혹은 수직으로 적층하는 3D 방식으로 패키징하면 이종의 서로 다른 반도체가 물리적, 기능적으로 결합해 하나처럼 동작한다"며 "신호전달 거리가 줄어 속도가 빨라지며 소요 소비전력을 급격하게 줄일 수 있다"고 말했다.
이종접합 패키징을 위한 핵심 기술 중 하나는 하이브리드 본딩이다. 반도체를 수직으로 쌓는 3D 패키징에서 주로 쓰인다. 위, 아래로 쌓인 반도체를 서로 연결하기 위한 전기적 통로로 공 모양의 범프가 활용된다. 하이브리드 본딩은 범프를 없애고 각 반도체가 구리 배선으로 직접 연결된다. 범프가 차지하던 공간에 더 많은 배선을 집적하고 신호가 이동하는 거리를 줄여 처리량과 전력 소비가 개선된다.
AMAT의 '인세프라 SiCN'는 하이브리드 본딩에 특화된 장비다. 질화탄소규소(SiCN) 소재를 활용해 구리 배선을 집적하는 데 필요한 안전성을 확보했다. 전력 소비를 낮추고 소자의 성능을 높일 수 있다고 AMAT는 설명했다. 함께 출시된 '카탈리스트'는 고온 열처리 단계에서 구리 소재 표면이 오목하게 형성되는 '디싱'을 제어하는 장비다. 하이브리드 본딩의 결합 완성도와 강도를 유지하는 역할을 하는 장비다.
AMAT는 TSV 공정을 위한 장비도 소개했다. TSV란 수직으로 쌓은 반도체를 연결하는 구멍을 뚫고 특수 소재를 채워 전기가 오가는 통로를 만드는 기술이다. 삼성전자와 SK하이닉스가 생산하는 HBM에 주로 쓰인다. 최근에는 더 많은 반도체를 적층하기 위해 더 많은 배선이 필요해지면서 각 구멍을 더 좁고 높게 만드는 기술이 필요해졌다.
TSV를 구현하기 위해서는 먼저 반도체원판(웨이퍼)을 가공하며 전기적 연결 통로인 '비아'를 형성해야한다. AMAT의 '프로듀서 인비다2'와 '엔듀라 벤튜라 2'는 비아를 만드는 과정에서 활용되는 장비다. 절연막을 더욱 균일하게 증착시키는 기술이 적용됐다. 특히 엔듀라 벤튜라2는 프로듀서 인비다2와 함께 사용하도록 최적화됐다. 현재 엔듀라 벤튜라2는 첨단 파운드리(수탁생산)와 주요 D램 기업이 사용하고 있다. 또 다른 장비인 '프로듀서 아빌라'는 수율 손실을 줄이면서도 전기적 특성이 우수하고 생산성이 좋은 절연체막을 생성할 때 사용된다.
박 총괄은 "AMAT 장비 중 시장에서 주목도가 높고 지배력이 강한 제품을 소개한 것"이라며 "AMAT는 전공정 장비에서 중요한 위치를 점하고 있는데, 산업이 패키징 분야를 중시하는 흐름을 겨냥해 큰 노력을 하고 있다"고 말했다.
AMAT는 미국에 본사를 둔 반도체 장비 기업이다. 시장조사기관 가트너에 따르면 지난 2021년 매출 기준으로 반도체 장비 시장에서 18.6% 점유율로 세계 1위를 기록했다. 강점은 연산 반도체와 파운드리, 메모리반도체까지 다양한 제품군에 있다. 매출 비중이 가장 높은 응용처는 파운드리로 올해 3분기 매출 기준 79%다. 공정 기준으로는 증착 장비 분야에서 기술력이 높다고 평가받는다.휴미출장샵 웅진출장샵 달성출장샵 울주출장샵 서울출장샵 대구출장샵 인천출장샵 광주출장샵 울산출장샵 대전출장샵 세종출장샵 연천출장샵 가평출장샵 양평출장샵 경기출장샵 수원출장샵 의정부출장샵 양평출장샵 안양출장샵 부천출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 평택출장샵 안산출장샵 고양출장샵 과천출장샵 홍천출장샵 횡성출장샵 영월출장샵 평창출장샵 정선출장샵 철원출장샵 화천출장샵 양구출장샵 인제출장샵 고성출장샵 양양출장샵 금산출장샵 부여출장샵 서천출장샵 청양출장샵 홍성출장샵 예산출장샵 태안출장샵 보은출장샵 옥천출장샵 영동출장샵 증평출장샵 진천출장샵 괴산출장샵 음성출장샵 단양출장샵 담양출장샵 홍성출장샵 구례출장샵 고흥출장샵 보성출장샵 화순출장샵 장흥출장샵 강진출장샵 해남출장샵 영암출장샵 무안출장샵 함평출장샵 영광출장샵 장성출장샵 신안출장샵 완주출장샵 진안출장샵 무주출장샵 장수출장샵 임실출장샵 순창출장샵 고창출장샵 부안출장샵 의령출장샵 함안출장샵 창녕출장샵 고성출장샵 남해출장샵 하동출장샵 산청출장샵 거창출장샵 합천출장샵 군위출장샵 의성출장샵 영양출장샵 청도출장샵 고령출장샵 성주출장샵 예천출장샵 봉화출장샵 울진출장샵 울릉출장샵 청송출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵 출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 부산출장샵 울산출장샵 서울출장샵 인천출장샵 세종출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 경기출장샵 양평출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 고양출장샵 과천출장샵 구리출장샵 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